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TEL

Ceramic Heater

  • Trias heater

    • PAA58505
    • PAA54745
    • PAA61865
    • PAA57835
    • PAA44565
    • PAA66205
    • PAA64445
    • PAA58735
    • PAA54775
    • PAA61868
    • PAA61869
    • PAA58005
    • P4458505
    • PAA66202
    • PAA55405

Chamber Parts

  • 1810-329037-13
  • 1810-121900-13
  • 1810-329064-12
  • 1810-121898-11
  • 1810-121899-12
  • 1810-121903-11
  • 1810-224951-11
  • 1810-224953-12
  • 1810-329022-13
  • 1810-329303-11
  • 1810-329078-11
  • 1810-329079-11
  • ES1D10-315183-15
  • ES1D10-102848-13
  • ES1D10-204418-12
  • ES1D10-204338-13
  • DEPO SHIELD

    • 3D10-101195-11
    • 3D10-150295-11
  • EXHAUST PLATE

    • 3D10-100845-11
  • RING,BTMSHIELDSE

    • 3D10-100844-11
  • SHUTTER

    • 3D10-250574-11
    • 3D10-101152-13
  • UEL (Upper Electrode)

    • 3D10-100424-13

Chiller

  • D230
  • CS240A
  • C240(C255)
  • C345-Q
  • CS355
  • D141
  • D214A
  • D215
  • D204
  • CTM-8-22
  • CTM-8-21
  • T&H-CP等
  • T&H-VF等
  • RKS-400S
  • RKS-750-C
  • INR-499-201
  • INR-341-60
  • INR-341-54
  • INR-341-42
  • INR-497
  • INR-498
  • INR-499
  • CH1-CP-D0
  • CT-7
  • CT-8

ESC

  • ESC

    • 3D10-100930-13 TEL ESC

Jacket Heater

  • 3843-000082-11
  • 3843-000077-11
  • 2110-332647-11
  • Bottom Heater

    • 3843-000056-11
  • Panel Heater

    • 3810-320709-12
    • 3810-323572-14
    • 3810-323605-12
    • 3810-323647-11
    • 3810-323672-14
    • 3810-324201-12
    • 3810-324849-11
    • 3810-324924-11
    • 3810-325153-12
    • 3810-325907-11
    • 3810-329508-11
    • 3810-331978-11
    • 3810-331979-11
    • 5110-300341-11
    • 2110-348523-12
    • 2110-348936-12
    • 2110-350260-11
    • 2110-352200-11
    • 2110-353115-12
    • 2110-360949-11
    • 2110-362562-11
    • 2110-364768-12
    • 2110-364976-11
    • 2110-365679-11
    • 2110-382562-11
    • 2110-348521-12

PARTS

  • OEM NEW

    • 3M187-050629-12 Trap Assy

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