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  • HRS012-A-20
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  • HRS024-W-20
  • HRB4007Z-X003
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  • INR-499-056-X039
  • INR-499-063
  • INR-499-207
  • INR-498-043
  • INR-242-1D
  • HEC012-W2B-X91
  • HEC203W-2DM
  • HEC204WM
  • HRS050
  • HRS060
  • HRZ001-L-CZ
  • HRZ002-L
  • HRZ002-W
  • HRZ010-WS

Motor Driver

  • MOTOR DRIVER

    • INR-244-271A

Valve

  • CYLINDER

    • NCY2B40h-1900 Door cylinder

  • HIGH VACUUM VALVE

    • XLA-160DA-M9BA
    • XLA-80DA SINGLE BELLOWS
    • XLD-100
    • XLD-100D-855
    • XLD-100D-862
    • XLD-40 DUAL BELLOWS
    • XLD-40
    • XLD-50
    • XLD-80
    • XYA-80

  • ISOLATION VALVE

    • XMD-63-DL-M9

  • LIFT ARM ASSEMBLY

    • CDRB1BW50-UIA980592 Super E Lifter Actuator｜AMAT PN : 0520-01043

  • SLIT VALVE

    • 02-121427-00 SMC 200mm L-motion Valve｜ 60-149991-00｜ CHAMBER
    • 02-133793-00 SMC 200mm L-motion Valve｜ 60-133798-00｜ L/L
    • XGT310-30-1A-X446
    • SMC 300mm L-motion Valve

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