Ceramic Heater

• Trias heater

  • PAA58505
  • PAA54745
  • PAA61865
  • PAA57835
  • PAA44565
  • PAA66205
  • PAA64445
  • PAA58735
  • PAA54775
  • PAA61868
  • PAA61869
  • PAA58005
  • P4458505
  • PAA66202
  • PAA55405

Chamber Parts

• 1810-329037-13
• 1810-121900-13
• 1810-329064-12
• 1810-121898-11
• 1810-121899-12
• 1810-121903-11
• 1810-224951-11
• 1810-224953-12
• 1810-329022-13
• 1810-329303-11
• 1810-329078-11
• 1810-329079-11
• ES1D10-315183-15
• ES1D10-102848-13
• ES1D10-204418-12
• ES1D10-204338-13

• DEPO SHIELD

  • 3D10-101195-11
  • 3D10-150295-11

• EXHAUST PLATE

  • 3D10-100845-11

• RING,BTMSHIELDSE

  • 3D10-100844-11

• SHUTTER

  • 3D10-250574-11
  • 3D10-101152-13

• UEL (Upper Electrode)

  • 3D10-100424-13

Chiller

• D230
• CS240A
• C240(C255)
• C345-Q
• CS355
• D141
• D214A
• D215
• Ｄ204
• CTM-8-22
• CTM-8-21
• T&H-CP等
• T&H-VF等
• RKS-400S
• RKS-750-C
• INR-499-201
• INR-341-60
• INR-341-54
• INR-341-42
• INR-497
• INR-498
• INR-499
• CH1-CP-D0
• CT-7
• CT-8

ESC

• ESC

  • 3D10-100930-13　TEL ESC

Jacket Heater

• 3843-000082-11
• 3843-000077-11
• 2110-332647-11

• Bottom Heater

  • 3843-000056-11

• Panel Heater

  • 3810-320709-12
  • 3810-323572-14
  • 3810-323605-12
  • 3810-323647-11
  • 3810-323672-14
  • 3810-324201-12
  • 3810-324849-11
  • 3810-324924-11
  • 3810-325153-12
  • 3810-325907-11
  • 3810-329508-11
  • 3810-331978-11
  • 3810-331979-11
  • 5110-300341-11
  • 2110-348523-12
  • 2110-348936-12
  • 2110-350260-11
  • 2110-352200-11
  • 2110-353115-12
  • 2110-360949-11
  • 2110-362562-11
  • 2110-364768-12
  • 2110-364976-11
  • 2110-365679-11
  • 2110-382562-11
  • 2110-348521-12

PARTS

• OEM NEW

  • 3M187-050629-12 Trap Assy