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MKS

Bratron

  • 622
  • 626
  • 624A
  • 625A
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  • 627B
  • 628A
  • 628B
  • 629A
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  • 122
  • 127

Generator

  • DC POWER SUPPLY

    • 0190-12212 DCG-200E-S00 MKS製DC電源DCG-200E
    • 0190-08033 DC24M-Z041300110A MKS製DC電源DCG-200Z
    • 0190-08034 DC22S-Z022000010A MKS製DC電源DCG-200Z
    • Optima OPT-50
    • Optima OPT-100
    • Optima OPT-200
    • Optima OPT-400
    • Optima OPT-600
    • Optima OPT-800

  • DC Power Supply DCG-200 DCG-200ZH-S00

    • 0190-22918/002
    • 0190-22918W/002

  • DC Power Supply DCG-200E DCG-200E

    • 0190-12213

  • FULLY REFURBISHED

    • MW-5060 MW-5060-01 REV 004

  • Matching Box

    • MW-20LD-HN
    • MW-25D-02M3J1
    • MW2-60
    • MWD-25LD-06
    • MWD-25LD-02
    • MWH-5

  • RF GENERATOR

    • ACG-3B-06
    • GEW-30A
    • GHW-25A
    • QL6513
    • RPG-50
    • ACG-5J-11891
    • PL-2HF-11451
    • SPECTRUM 11002-00
    • Spectrum 3013
    • ELITE 750
    • MKS SPECTRUM B-1513
    • SPECTRUM B 5002
    • DOFBC2-075
    • RPDG-50
    • RPDG-100
    • RPDG-200
    • OEM-6J
    • OEM-12A XL
    • OEM-12B-01
    • OEM-25-11481
    • OEM-25N-11481
    • OEM-25N-XL
    • OEM-6 XL
    • OEM-650A XL
    • OEM-650A-02
    • OB2
    • DOFBC2-083
    • PL-2HF-11451-55
    • ACG-10-XL

  • RF Generator Spectrum13.56MHz B-10513-00 F

    • 0190-33638

  • RPS

    • AX7667-01
    • AX7670-02
    • AX7670-06
    • AX7670-15
    • AX7670-16
    • AX7670-19
    • AX7685-01
    • AZ7670-15
    • FI20620-1
    • FI20656-1
    • FI80132
    • FI80146
    • AX7635-03
    • AX7640-01
    • AX7651-2
    • AX7665-02

  • SSD Board

    • ABX-X490
    • ABX-X348
    • ABX-X279

Massflow Controller

  • 1179

Valve

  • ANGLE VALVE

    • 93-6127 DUAL BELLOWS｜PN : 796-801289-001｜NW40
    • LPV-40-AK-COVS (99B-0558) NW40｜ 100991861
    • FORELINE VALVE
    • NW40

  • EXHAUST THROTTLE VALVE

    • 153B
    • 153D-15972
    • 153D-15973
    • 253A-11010
    • 253B-11010
    • 253B-11020
    • 253B-11102
    • 253B-11203
    • 253B-11247
    • 253B-11328
    • 253B-11701
    • 253B-13133
    • 253B-1-40-1
    • 253B-14340
    • 253B-14579
    • 253B-15415
    • 253B-15488
    • 253B-15665
    • 253B-16082
    • 253B-16083 PCB type｜ Flange KF50｜ AMAT 3870-03055
    • 253B-16083
    • 253B-16182
    • 253B-21489
    • 253B-21977
    • 253B-22154
    • 253B-23957
    • 253B-23958
    • 253B-26373
    • 253BX-13964
    • 653B-13552
    • 653B-14814
    • 653B-22815
    • 653B-2-50-2
    • 683B-23795
    • 683B-24562 AMAT 0190-12708
    • 683B-26033
    • T3BIA-27198 26711 O-RING

  • INLINE PNEUMATIC VALVE

    • HPS 162-0040K

  • ISOLATION VALVE

    • 152-0063P
    • 99B-0558
    • UHV-40-IKK-BVVN

  • MAIN VALVE

    • 100012730 MKS HPS Products 100012730

  • SLOW PUMP VALVE

    • SLOW PUMP VALVE

  • TWO STAGE ANLE VALVE

    • L-40-SP1 KF40
    • V2-100

  • VACUUM VALVE

    • LPV-25-AK-COVS 10093771 (NW25)｜ISOLATION VALVE
    • LPV-40-AK-COVS 100937702 (NW40)｜ISOLATION VALVE

VODM

  • VODMC33CR1BE
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  • VODMB23398
  • VODMC13CR1BE

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